Kính hiển vi điện tử truyền qua Talos F200X G2
Thermo Scientific Talos F200X STEM là kính hiển vi điện tử truyền qua quét kết hợp hình ảnh STEM và TEM có độ phân giải cao vượt trội với khả năng phát hiện tín hiệu quang phổ tia X phân tán năng lượng (EDS) hàng đầu trong ngành. Xác định đặc tính hóa học 2D/3D với ánh xạ thành phần được thực hiện bởi 4 máy dò SDD Super-X trong cột với độ sạch độc đáo. Kính hiển vi điện tử truyền qua quét Talos F200X cho phép phân tích EDS nhanh nhất và chính xác nhất ở mọi chiều, cùng với hình ảnh TEM và STEM (HRTEM và HRSTEM) độ phân giải cao với khả năng điều hướng nhanh cho kính hiển vi động. Kính hiển vi điện tử truyền qua quét Talos F200X cũng có tính năng giảm độ nhạy môi trường; vỏ thiết bị điều chỉnh tác động của sóng áp suất không khí, luồng không khí và sự thay đổi nhiệt độ nhỏ trong phòng TEM.
Hình ảnh STEM và phân tích hóa học
Talos F200X (S)TEM cung cấp đặc tính định lượng, nhanh chóng, chính xác của vật liệu nano ở nhiều chiều. Với các tính năng cải tiến được thiết kế để tăng thông lượng, độ chính xác và dễ sử dụng, Talos F200X (S)TEM lý tưởng cho nghiên cứu và phân tích nâng cao trong môi trường học thuật, chính phủ, chất bán dẫn và công nghiệp.
Nhu cầu về hình ảnh tương quan diện rộng ở độ phân giải cao gần đây đã tăng lên vì nó cho phép các nhà nghiên cứu duy trì bối cảnh quan sát của họ đồng thời cung cấp dữ liệu thống kê mạnh mẽ. Phần mềm Bản đồ Khoa học Thermo (được hỗ trợ bởi Phần mềm Thermo Scientific Velox) tự động thu thập một loạt hình ảnh trên một mẫu và ghép chúng lại với nhau để tạo ra một hình ảnh lớn cuối cùng. Việc thu thập hình ảnh thậm chí có thể được thực hiện mà không cần giám sát. Gói APW (Quy trình làm việc hạt tự động) có tất cả các lợi ích được mô tả trong phần này và bổ sung khả năng xử lý độc đáo trên PC xử lý chuyên dụng với Phần mềm Thermo Scientific Avizo2D. Người sử dụng có thể nhận các thông số hạt nano như kích thước, diện tích, chu vi, hình dạng, hệ số, danh bạ, v.v., một cách tự động. Gói phần mềm hoàn toàn tự động và không cần giám sát cho phép sử dụng Talos F200X (S)TEM 24/7, nhận được số liệu thống kê tốt hơn nhiều và cải thiện đáng kể khả năng lặp lại vì không có sự thiên vị của người vận hành.
Phần mềm tự động hóa Align Genie giúp giảm bớt quá trình đào tạo cho người vận hành mới làm quen, tạo sự thoải mái trong môi trường nhiều người dùng và cải thiện thời gian xử lý dữ liệu cho người vận hành có kinh nghiệm.
| Độ phân giải dòng HRTEM |
|
| độ phân giải STEM |
- .16nm (X-FEG)
- .14 nm với 100 pA (X-CFEG)
|
| Hệ thống Super-X EDS |
- 4 SDD thiết kế đối xứng, không cửa sổ, có cửa chớp bảo vệ
|
| Độ phân giải năng lượng của phổ tiêu hao năng lượng điện tử (EELS) |
- .80,8 eV (X-FEG)
- .30,3 eV (X-CFEG
|
| Hiệu suất sáng của súng ở 200 kV |
- 1,8×10 9 A /cm 2 srad (X-FEG)
- 2,4×10 9 A /cm 2 srad (X-CFEG)
|
Có sẵn với nhiều loại súng phát xạ trường có độ phân giải cao (FEG)
Chọn X-FEG độ sáng cao hoặc Súng phát xạ trường lạnh độ sáng cực cao (X-CFEG). X-CFEG kết hợp hình ảnh TEM (S) tốt nhất với độ phân giải năng lượng tốt nhất.
Phần mềm trực quan
Phần mềm Thermo Scientific Velox cung cấp khả năng thu thập và phân tích dữ liệu đa phương thức nhanh chóng và dễ dàng.
Thời gian nhanh hơn để phân tích thành phần hóa học
Phân tích định lượng EDS nhanh chóng, chính xác cho thấy các chi tiết có kích thước nano ở dạng 2D và 3D với độ rõ nét cao.
Dữ liệu hình ảnh tốt hơn
Hình ảnh STEM thông lượng cao với khả năng phát hiện nhiều tín hiệu đồng thời mang lại độ tương phản tốt hơn cho hình ảnh chất lượng cao.
Tối ưu không gian
Thêm giá đỡ mẫu tại chỗ dành riêng cho ứng dụng cho các thử nghiệm động.
Hình ảnh TEM (S) chất lượng cao và EDS chính xác
Thu được hình ảnh TEM hoặc STEM chất lượng cao với giao diện người dùng Phần mềm Velox sáng tạo và trực quan. Hiệu chỉnh độ hấp thụ EDS độc đáo trong Phần mềm Velox cho phép định lượng có độ chính xác cao.
Thu thập dữ liệu có độ lặp lại cao
Tất cả các điều chỉnh TEM hàng ngày, chẳng hạn như tiêu điểm, độ cao tâm tâm, dịch chuyển chùm tia, khẩu độ tụ quang, điểm trục nghiêng chùm tia và tâm xoay đều được tự động hóa, đảm bảo bạn luôn bắt đầu từ điều kiện hình ảnh tối ưu. Các thí nghiệm có thể được lặp lại nhiều lần, cho phép bạn tập trung vào nghiên cứu
Tăng năng suất
Cột ổn định và vận hành từ xa với Camera SmartCam và thấu kính vật kính có công suất không đổi cho chế độ nhanh và công tắc điện áp cao (HT). Chuyển đổi nhanh chóng và dễ dàng cho môi trường nhiều người dùng.
Kiểm soát quá trình bằng kính hiển vi điện tử
Ngành công nghiệp hiện đại đòi hỏi năng suất cao với chất lượng vượt trội, sự cân bằng được duy trì thông qua kiểm soát quy trình mạnh mẽ. Các công cụ SEM và TEM với phần mềm tự động hóa chuyên dụng cung cấp thông tin nhanh chóng, đa quy mô để theo dõi và cải tiến quy trình.
Kiểm soát chất lượng và phân tích lỗi
Kiểm soát và đảm bảo chất lượng là rất cần thiết trong ngành công nghiệp hiện đại. Thermo Fisher cung cấp các thiết bị EM và quang phổ để phân tích các lỗi ở nhiều quy mô và đa phương thức, cho phép bạn đưa ra các quyết định đáng tin cậy và sáng suốt để kiểm soát và cải tiến quy trình.
Nghiên cứu vật liệu cơ bản
Các vật liệu mới được nghiên cứu ở quy mô ngày càng nhỏ hơn để kiểm soát tối đa các tính chất vật lý và hóa học của chúng. Kính hiển vi điện tử cung cấp cho các nhà nghiên cứu cái nhìn sâu sắc về nhiều đặc tính vật liệu ở quy mô vi mô đến nano.
Nghiên cứu và phát triển chất bán dẫn
Sự phức tạp ngày càng tăng của cấu trúc thiết bị bán dẫn, cùng với việc thu hẹp kích thước cấu trúc, có nghĩa là việc thiết kế các thiết bị thế hệ tiếp theo phức tạp và tốn thời gian hơn. Điều này, cùng với thực tế là số lượng các lựa chọn công nghệ và thiết kế sẵn có ngày càng tăng, có nghĩa là xác suất thành công về mặt thương mại của bất kỳ thiết kế cụ thể nào sẽ thấp hơn. Do đó, các nhà sản xuất thiết bị cần các thiết bị đáng tin cậy để giúp giảm số lượng tùy chọn khả thi có sẵn và giúp họ triển khai giải pháp nhanh hơn.
Đo lường bán dẫn
Thermo Fisher Scientific cung cấp bộ sản phẩm thế hệ mới với khả năng phân tích tiên tiến dành cho đo lường và kiểm tra chất bán dẫn. Các giải pháp này được thiết kế để giúp tăng năng suất trong các phòng thí nghiệm chế tạo chất bán dẫn bằng cách cải thiện khả năng kiểm soát chất lượng và năng suất trong sản xuất các thiết bị logic, 3D NAND, DRAM, analog, nguồn và hiển thị.
Phân tích lỗi bán dẫn
Các thiết bị phân tích nâng cao có thể phát hiện bất kỳ lỗi điện ảnh hưởng đến năng suất, độ tin cậy hoặc hiệu suất. Do đó, có thể giảm thời gian và chi phí liên quan đến việc cách ly lỗi điện bằng cách trích xuất nhanh chóng dữ liệu lỗi toàn diện từ mẫu.
Phân tích đặc tính vật liệu bán dẫn
Việc mô tả đặc tính nâng cao của thiết bị giúp đạt được hiệu suất cần thiết, dự đoán và kiểm soát các đặc tính cấu trúc, vật lý và hóa học, cũng như liên hệ dữ liệu mô tả đặc tính với kết quả kiểm tra tham số
Quang phổ tán sắc năng lượng
Quang phổ tán sắc năng lượng (EDS) thu thập thông tin nguyên tố chi tiết cùng với hình ảnh kính hiển vi điện tử, cung cấp bối cảnh thành phần quan trọng cho các quan sát EM. Với EDS, thành phần hóa học có thể được xác định từ việc quét bề mặt nhanh chóng, toàn diện đến từng nguyên tử.
Chụp cắt lớp 3D EDS
Nghiên cứu vật liệu hiện đại ngày càng phụ thuộc vào phân tích ba chiều ở cấp độ nano. Có thể mô tả đặc tính 3D, bao gồm dữ liệu thành phần cho bối cảnh hóa học và cấu trúc đầy đủ bằng phương pháp quang phổ tia X 3D EM và phân tán năng lượng.
Phân tích nguyên tố EDS
Phần mềm lập bản đồ nguyên tố hiện tượng nhiệt khoa học cung cấp thông tin nhanh chóng và đáng tin cậy về sự phân bố các nguyên tố hóa học trong mẫu.
EDS độ phân giải nguyên tử
EDS có độ phân giải nguyên tử cung cấp bối cảnh hóa học tối ưu cho việc phân tích vật liệu bằng cách phân biệt danh tính nguyên tố của từng nguyên tử. Khi kết hợp với TEM độ phân giải cao, có thể quan sát chính xác tổ chức của các nguyên tử trong mẫu.
Phổ tổn hao năng lượng điện tử (EELS)
Nghiên cứu khoa học vật liệu được hưởng lợi từ EELS có độ phân giải cao cho nhiều ứng dụng phân tích. Điều này bao gồm ánh xạ nguyên tố có thông lượng cao, tỷ lệ tín hiệu trên nhiễu cao, cũng như thăm dò các trạng thái oxy hóa và phonon bề mặt.
Thử nghiệm in situ
Cần phải quan sát trực tiếp, theo thời gian thực các thay đổi cấu trúc vi mô bằng kính hiển vi điện tử để hiểu các nguyên tắc cơ bản của các quá trình động như kết tinh lại, phát triển hạt và chuyển pha trong quá trình gia nhiệt, làm lạnh hoặc thấm ướt
Phân tích hạt
Phân tích hạt đóng một vai trò quan trọng trong nghiên cứu vật liệu nano và kiểm soát chất lượng. Độ phân giải ở quy mô nanomet và hình ảnh vượt trội của kính hiển vi điện tử có thể được kết hợp với phần mềm chuyên dụng để xác định nhanh đặc tính của bột và hạt.
Phân tích đa quy mô
Các vật liệu mới phải được phân tích ở độ phân giải cao hơn trong khi vẫn giữ được lượng lớn hơn của mẫu. Phân tích đa quy mô cho phép tương quan giữa các công cụ và phương thức hình ảnh khác nhau như X-quang microCT, DualBeam, Laser PFIB, SEM và TEM.
Đo lường TEM
Quy trình đo TEM tự động và nâng cao mang lại độ chính xác cao hơn đáng kể so với các phương pháp thủ công. Điều này cho phép người dùng tạo ra một lượng lớn dữ liệu có liên quan về mặt thống kê, với độ đặc hiệu ở cấp độ dưới angstrom
Hình ảnh và phân tích TEM
Kính hiển vi điện tử truyền qua Thermo Scientific cung cấp hình ảnh và phân tích độ phân giải cao của các thiết bị bán dẫn, cho phép nhà sản xuất hiệu chỉnh bộ công cụ, chẩn đoán cơ chế hỏng hóc và tối ưu hóa năng suất quy trình tổng thể.
EN