Kiểm tra các mẫu lớn
Tận dụng khả năng điều tra các mẫu vật có kích thước tối đa là 300 mm x 300 mm và chiều cao tối đa là 254 mm. Cho dù xử lý các mẫu nặng hay làm việc kết hợp với kính hiển vi quét laze đồng tiêu ZEISS LSM dành cho vật liệu – thiết kế cột chắc chắn mang lại sự ổn định đáng tin cậy.
Tương thích với phòng sạch
Việc kiểm tra wafer và mặt nạ quang phải tuân theo các yêu cầu cực kỳ nghiêm ngặt về độ sạch. Do đó, chúng được thực hiện trong phòng sạch. Chúng được phân loại theo DIN EN ISO 14644-1, phân biệt theo số lượng và kích thước hạt trên mỗi m³. Axio Imager Vario được chứng nhận theo tiêu chuẩn này và đáp ứng các yêu cầu của phòng sạch hạng 5. Phòng sạch hạng ISO 5 tương đương với hạng 100 của tiêu chuẩn cũ FED STD 209E (1992).
Tập trung mọi lúc
Khi kiểm tra các bề mặt phản chiếu, có độ tương phản thấp, chỉ cần trang bị cho Axio Imager Vario của bạn tính năng Lấy nét tự động phần cứng hiệu quả. Nó đảm bảo độ chính xác cao cho cả ánh sáng phản xạ và truyền qua. Cảm biến phát hiện những thay đổi ở vị trí lấy nét và mọi sai lệch sẽ được thêm tự động. Ngay cả những mẫu vật lớn vẫn được lấy nét hoàn hảo trong khi di chuyển.
EN