Apreo 2 SEM – Kính hiển vi điện tử quét

Kính hiển vi điện tử quét để chụp ảnh và phân tích vật liệu linh hoạt, hiệu suất cao.

Đặc tính vật liệu

Các phòng thí nghiệm mô tả đặc tính vật liệu tiên tiến yêu cầu quyền truy cập vào các kỹ thuật mới nhất và sẽ đẩy các công cụ phân tích, bao gồm cả SEM, đến khả năng tối đa của chúng. Hầu hết các phòng thí nghiệm này đều là cơ sở nhiều người dùng, phù hợp với những người dùng có mức độ kinh nghiệm khác nhau. Thời gian sử dụng kính hiển vi là rất quý giá và cần phải tránh dành quá nhiều thời gian cho việc bảo trì, căn chỉnh hoặc tối ưu hóa hình ảnh.

Kính hiển vi điện tử quét Apreo 2

Thermo Scientific Apreo 2 SEM mới mở rộng khả năng tiếp cận hình ảnh và phân tích hiệu suất cao cho tất cả các cấp độ chuyên môn về kính hiển vi. Với Công nghệ Thermo Scientific ChemiSEM, khả năng chụp ảnh nguyên tố sống độc đáo, thông tin về thành phần luôn có sẵn thông qua giao diện trực quan nhất. Loại bỏ tất cả những rắc rối liên quan đến việc triển khai EDS điển hình, Công nghệ ChemiSEM mang lại thời gian nhanh chóng và dễ sử dụng.

Apreo 2 SEM đặt ra những nhu cầu nhỏ hơn nhiều đối với người dùng và người quản lý phòng thí nghiệm với Công nghệ Thermo Scientific SmartAlign, một hệ thống quang học tự điều chỉnh. Hơn nữa, Apreo 2 SEM tự động hóa quá trình tinh chỉnh hình ảnh bằng công nghệ Thermo Scientific FLASH. Công nghệ FLASH thực hiện mọi chỉnh sửa cần thiết đối với việc định tâm ống kính, các điểm mờ và tiêu điểm cuối cùng của hình ảnh. Sự kết hợp của các công nghệ này có nghĩa là những người mới sử dụng kính hiển vi điện tử có thể tiếp cận hiệu suất cao cấp của Apreo 2 SEM. Ngoài ra, Apreo 2 SEM là SEM duy nhất có độ phân giải 1 nanomet ở khoảng cách làm việc phân tích 10 mm. Khoảng cách làm việc rộng không còn có nghĩa là hình ảnh kém. Với Apreo 2 SEM, bất kỳ ai cũng có thể tự tin nhận được kết quả tối ưu.

Quang học điện tử
  • Cột SEM phát xạ trường có độ phân giải cao
    • Súng phát xạ trường Schottky có độ ổn định cao
    • Thấu kính ghép cuối cùng: thấu kính mục tiêu tĩnh điện, từ trường và từ trường kết hợp
  • Vật kính kép kết hợp thấu kính điện từ và tĩnh điện
Nguồn
24 tháng
Tự động hóa
  • Gia nhiệt tự động
  • Tự động bắt đầu
  • Không có sự sắp xếp cơ học
  • Khẩu độ làm nóng tự động
  • Hướng dẫn sử dụng và cài đặt trước cột
Bàn soi mẫu Điều khiển quét kép
Chùm tia điện tử
  • Kiểm soát dòng tia liên tục và khẩu độ tối ưu
  • Phạm vi hiện tại của chùm tia: 1 pA đến 400 nA
    • Trong hình ảnh mặt khối nối tiếp SEM: 50 pA – 3,2 nA
  • Dải năng lượng hạ cánh: 20 eV – 30 keV
  • Dải điện áp tăng tốc: 200 V – 30 kV
    • Trong hình ảnh mặt khối nối tiếp SEM: 500 V – 6 kV
  • Độ phân giải ở khoảng cách làm việc tối ưu và hình ảnh chân không cao SEM thông thường
    • 0,8 nm ở 30 keV STEM
    • 0,7nm ở 15 keV
    • 1,0nm ở 1 keV
Buồng
  • Chiều rộng bên trong: 340 mm
  • Khoảng cách làm việc phân tích: 10 mm
  • Cổng: 12
Máy dò
  • Máy dò hình ảnh mặt khối nối tiếp
    • Máy dò trong ống kính phân đoạn T1 thấp hơn
    • VS-DBS: BSED gắn trên ống kính LoVac
  • Máy dò trong ống kính T2
  • Máy dò Everhart-Thornley SE (ETD)
  • IR-CCD
  • Máy dò SE chân không thấp
  • STEM 3+ – Máy dò phân đoạn có thể thu vào
  • Máy dò bổ sung có sẵn
Hệ thống chân không
  • Hệ thống chân không không dầu hoàn chỉnh
  • 1 × 220 l/s TMP
  • 1 × cuộn PVP
  • 2 × IGP
  • Chân không buồng (chân không cao) <6,3 × 10 -6 mbar (sau 72 giờ bơm)
  • Chế độ chân không thấp lên tới 50 Pa để bù điện tích cho các mẫu không dẫn điện
  • Thời gian sơ tán: 3,5 phút
Giá đỡ mẫu
  • Giá đỡ đa năng tiêu chuẩn; gắn trực tiếp lên bàn soi một cách độc đáo; chứa tới 18 cuống tiêu chuẩn (Ø12 mm), ba cuống nghiêng trước, hai kẹp thanh dọc và hai kẹp thanh nghiêng trước
  • Mỗi thanh hàng tùy chọn chứa sáu lưới S/TEM
  • Tấm wafer và giá đỡ tùy chỉnh

Hiệu suất, độ phân giải và độ tương phản cao

Sự kết hợp giữa quang học tiên tiến, khả năng phát hiện và tự động hóa trong Apreo 2 giúp có thể thu được hình ảnh có độ phân giải cao ngay cả đối với người dùng mới làm quen với SEM.

Nhiều loại mẫu

Apreo 2 được thiết kế để mang lại sự linh hoạt tối đa. Có thể chụp ảnh chất lượng cao, độ phân giải cao bất kể đặc tính của mẫu mục tiêu. Các chất cách điện, vật liệu nhạy với chùm tia hoặc từ tính đều có thể được chụp ảnh một cách dễ dàng nhờ các tùy chọn điều khiển chùm tia, phát hiện và quang học độc đáo của Apreo 2.

EDS định lượng trực tiếp với ChemiSEM

Thông tin nguyên tố trong tầm tay với ChemiSEM, cung cấp bản đồ nguyên tố định lượng trực tiếp với thời gian nhanh chóng và dễ sử dụng.

Tải mẫu nhanh chóng và dễ dàng

Dễ dàng tiếp cận bàn soi, giá đỡ nhiều mẫu tiện lợi và bơm xuống nhanh đảm bảo không lãng phí thời gian khi tải mẫu. Một quy trình tự động để chèn và tháo khẩu độ giới hạn áp suất (PLA) cho phép chuyển đổi liền mạch giữa chân không cao và thấp mà không cần mở buồng.

Tự động hóa nâng cao

Từ quang học đến thu thập hình ảnh, Apreo 2 cung cấp một loạt tính năng tự động để giúp thời gian chụp ảnh hiệu quả và tiết kiệm nhất có thể. Công nghệ Flash tự động tinh chỉnh hình ảnh Chức năng Hoàn tác độc đáo cho phép khám phá hiệu quả các điều kiện hình ảnh Phần mềm Bản đồ khoa học nhiệt tự động thu thập dữ liệu khu vực rộng với tối đa 4 tín hiệu đồng thời khác nhau

Hiệu suất ở khoảng làm việc lớn

Apreo 2 là SEM duy nhất cung cấp hiệu suất độ phân giải cao (1nm) và chất lượng hình ảnh tuyệt vời ở khoảng cách làm việc phân tích (10 mm). Tất cả các thông tin về hình thái, địa hình và bề mặt mẫu đều có thể được khám phá đồng thời trong khi ở khoảng cách an toàn với mảnh cột. Nhờ máy dò tán xạ ngược trong ống kính có tốc độ cao và độ nhạy cao, BSE vẫn được phát hiện ngay cả ở dòng điện chùm tia cực thấp (thấp tới vài pA).
  • Kiểm soát quá trình bằng kính hiển vi điện tử
  • Kiểm soát chất lượng và phân tích lỗi
  • Nghiên cứu vật liệu cơ bản
  • Nghiên cứu và phát triển chất bán dẫn
  • Đo lường bán dẫn
  • Phân tích lỗi bán dẫn
  • Đặc tính vật liệu bán dẫn

ChemiSEM

Phương pháp Phổ xạ năng lượng phân tán để xác định đặc tính vật liệu.

Phổ xạ năng lượng phân tán

Phổ xạ năng lượng phân tán (EDS) thu thập thông tin nguyên tử chi tiết cùng với hình ảnh kính hiển vi điện tử, cung cấp bối cảnh hóa học quan trọng cho quan sát EM. Với EDS, thành phần hóa học có thể được xác định từ các quét bề mặt nhanh chóng, toàn diện đến từng nguyên tử.

Chụp ảnh mẫu nhiệt độ cao

Nghiên cứu vật liệu trong điều kiện thực tế thường liên quan đến làm việc ở nhiệt độ cao. Hành vi của vật liệu khi chúng tái tinh thể hóa, tan chảy, biến dạng, hoặc phản ứng dưới sự hiện diện của nhiệt có thể được nghiên cứu trực tiếp trong điều kiện với kính hiển vi điện tử quét hoặc các công cụ DualBeam.

Phát quang cực âm

Phát quang cực âm (CL) mô tả sự phát ra ánh sáng từ một vật liệu khi nó được kích thích bởi một tia electron. Tín hiệu này, được thu thập bởi một bộ cảm biến CL chuyên dụng, mang thông tin về thành phần của mẫu, các khuyết tật tinh thể, hoặc các tính chất về photon.

Phân tích đa quy mô

Các vật liệu mới cần được phân tích ở độ phân giải càng cao càng tốt trong khi vẫn giữ nguyên bối cảnh lớn của mẫu. Phân tích đa quy mô cho phép liên kết giữa các công cụ và phương pháp hình ảnh khác nhau như X-ray microCT, DualBeam, Laser PFIB, SEM và TEM. Điều này giúp hiểu rõ hơn về cấu trúc và tính chất của vật liệu từ cấp độ nguyên tử đến cấp độ tinh thể và thậm chí là cấp độ macro.

Phân tích và Hình ảnh bán dẫn

Thermo Fisher Scientific cung cấp kính hiển vi điện tử quét cho mọi chức năng của phòng thí nghiệm bán dẫn, từ các tác vụ tạo ảnh thông thường đến các kỹ thuật phân tích lỗi nâng cao yêu cầu đo độ tương phản điện áp chính xác.