Prisma E SEM – Kính hiển vi điện tử quét

Kính hiển vi điện tử quét môi trường cho nghiên cứu và phát triển công nghiệp

Kính hiển vi điện tử quét môi trường

Kính hiển vi điện tử quét Thermo Scientific Prisma E (SEM) kết hợp nhiều phương thức phân tích và hình ảnh với tính năng tự động hóa tiên tiến để cung cấp giải pháp hoàn chỉnh nhất cho bất kỳ thiết bị nào cùng loại. Đó là lý tưởng cho các ứng dụng nghiên cứu và phát triển công nghiệp, kiểm soát chất lượng và phân tích lỗi yêu cầu độ phân giải cao, tính linh hoạt của mẫu và giao diện vận hành dễ sử dụng.

ESEM với EDS

Sự kết hợp độc đáo giữa hiệu suất toàn diện dễ tiếp cận, bộ phụ kiện lớn và phân tích nguyên tố trực quan nhất với Thermo Scientific ColorSEM  khiến Prisma E SEM trở thành SEM phù hợp để chụp ảnh và phân tích ở quy mô vi mô trong bất kỳ ngành hoặc lĩnh vực nào.

Độ phân giải

  • 3,0 nm ở 30 kV trong chân không cao, chân không thấp và ESEM
  • 7,0 nm ở 3 kV (BSED, độ giảm chùm tia.)

Máy dò tiêu chuẩn

  • ETD, SED chân không thấp (LVD), SED khí cho chế độ ESEM (GSED), camera hồng ngoại

Máy dò tùy chọn

  • Máy ảnh Thermo Scientific Nav-Cam+, DBS, DBS-GAD, ESEM-GAD, STEM 3+, WetSTEM, RGB-CLD, EDS, EBSD, WDS, Raman, EBIC, v.v.

Công nghệ ChemiSEM (tùy chọn)

  • Màu ảnh SEM định lượng trực tiếp có sẵn dựa trên quang phổ tia X phân tán năng lượng (EDS). Bao gồm điểm & ID, quét đường, vùng, bản đồ phần tử và định lượng Noran chính xác.

Độ lệch giai đoạn (giảm tốc chùm tia, tùy chọn)

  • -4.000V đến +50V

Chế độ chân không thấp

  • Lên tới 2.600 Pa (H 2 O) hoặc 4.000 Pa (N 2 )

Bàn soi mẫu

  • Bàn soi lệch tâm có động cơ 5 trục, 110 x 110 mm 2 với phạm vi nghiêng 105°. Trọng lượng mẫu tối đa: 5 kg ở vị trí không nghiêng.

Giá đỡ mẫu tiêu chuẩn

  • Giá đỡ SEM nhiều mẫu tiêu chuẩn được gắn trực tiếp một cách độc đáo
  • Trên bàn soi, chứa tối đa 18 cuống tiêu chuẩn (⌀ 12 mm), không
  • không yêu cầu công cụ để gắn mẫu

Buồng máy

  • Chiều rộng bên trong 340 mm, 12 cổng, có thể sử dụng ba đầu dò EDS đồng thời, hai đầu dò ở 180°, EDS/EBSD đồng phẳng trực giao với trục nghiêng của bàn soi

Phụ kiện tại chỗ (tùy chọn)

  • Bàn lạnh Peltier -20°C đến +60°C được điều khiển bằng phần mềm
  • Bàn gia nhiệt chân không/ESEM ở nhiệt độ 1.000°C được điều khiển bằng phần mềm
  • Bàn gia nhiệt chân không cao 1.100°C được điều khiển bằng phần mềm
  • Bàn gia nhiệt chân không/ESEM ở nhiệt độ 1.400°C được điều khiển bằng phần mềm
  • Phun khí tích hợp: tối đa 2 thiết bị (các phụ kiện khác có thể giới hạn số lượng hệ thống phun khí (GIS) có sẵn để lắng đọng chùm tia tạo ra các vật liệu sau:
    • Bạch kim
    • vonfram
    • Carbon
  • Bộ điều khiển
  • Bàn lạnh
  • Đầu dò điện

Tùy chọn phần mềm

  • Phần mềm bản đồ khoa học nhiệt để thu thập tự động khu vực lớn
  • Phần mềm Thermo Scientific AutoScript 4 ; giao diện lập trình ứng dụng dựa trên Python
  • Phần mềm tạo mẫu
  • Phần mềm TopoMaps để tô màu hình ảnh, phân tích hình ảnh và tái tạo bề mặt 3D

Thông tin cơ bản trong tầm tay

Màu sắc hình ảnh dựa trên bố cục trực tiếp để phân tích nguyên tố trực quan với Công nghệ ChemiSEM tùy chọn và tích hợp quang phổ tia X năng lượng phân tán (EDS). Tăng tốc công việc của bạn và thu được thông tin mẫu đầy đủ nhất với tính năng phân tích luôn bật.

Chất lượng hình ảnh vượt trội

Chất lượng hình ảnh tuyệt vời ở kV thấp và độ chân không thấp nhờ các chế độ chân không linh hoạt, bao gồm cả bơm vi sai qua ống kính. Hình ảnh điện tử thứ cấp (SE) và điện tử tán xạ ngược (BSE) đồng thời ở mọi chế độ hoạt động

Giảm thiểu thời gian chuẩn bị mẫu

Khả năng chân không và ESEM thấp cho phép chụp ảnh và phân tích miễn phí các mẫu không dẫn điện và/hoặc ngậm nước

Nghiên cứu in situ về vật liệu ở trạng thái tự nhiên

Với chế độ SEM môi trường (ESEM) của Prisma E SEM, các mẫu có thể được chụp ảnh ngay cả khi nóng, bẩn, thoát khí hoặc ướt.

Khả năng phân tích

Khả năng phân tích vượt trội với buồng cho phép 3 máy dò EDS đồng thời, cổng EDS đối diện 180°, quang phổ tán sắc bước sóng (WDS), EDS/EBSD đồng phẳng và EDS và EBSD miễn phí chất lượng cao trong chân không thấp.

Dễ dàng sử dụng

Phần mềm trực quan, dễ sử dụng với hướng dẫn người dùng và chức năng hoàn tác giúp người dùng mới có thể vận hành hiệu quả cao, đồng thời cho phép các chuyên gia thực hiện công việc nhanh hơn

Kiểm soát quá trình bằng kính hiển vi điện tử

Ngành công nghiệp hiện đại đòi hỏi năng suất cao với chất lượng vượt trội, sự cân bằng được duy trì thông qua kiểm soát quy trình mạnh mẽ. Các công cụ SEM và TEM với phần mềm tự động hóa chuyên dụng cung cấp thông tin nhanh chóng, đa quy mô để theo dõi và cải tiến quy trình.

Kiểm soát chất lượng và phân tích lỗi

Kiểm soát và đảm bảo chất lượng là rất cần thiết trong ngành công nghiệp hiện đại. Thermo Fisher cung cấp các thiết bị EM và quang phổ để phân tích các lỗi ở nhiều quy mô và đa phương thức, cho phép bạn đưa ra các quyết định đáng tin cậy và sáng suốt để kiểm soát và cải tiến quy trình.

Nghiên cứu vật liệu cơ bản

Các vật liệu mới được nghiên cứu ở quy mô ngày càng nhỏ hơn để kiểm soát tối đa các tính chất vật lý và hóa học của chúng. Kính hiển vi điện tử cung cấp cho các nhà nghiên cứu cái nhìn sâu sắc về nhiều đặc tính vật liệu ở quy mô vi mô đến nano.

Nghiên cứu và phát triển chất bán dẫn

Sự phức tạp ngày càng tăng của cấu trúc thiết bị bán dẫn, cùng với việc thu hẹp kích thước cấu trúc, có nghĩa là việc thiết kế các thiết bị thế hệ tiếp theo phức tạp và tốn thời gian hơn. Điều này, cùng với thực tế là số lượng các lựa chọn công nghệ và thiết kế sẵn có ngày càng tăng, có nghĩa là xác suất thành công về mặt thương mại của bất kỳ thiết kế cụ thể nào sẽ thấp hơn. Do đó, các nhà sản xuất thiết bị cần các thiết bị đáng tin cậy để giúp giảm số lượng tùy chọn khả thi có sẵn và giúp họ triển khai giải pháp nhanh hơn.

Đo lường bán dẫn

Thermo Fisher Scientific cung cấp bộ sản phẩm thế hệ mới với khả năng phân tích tiên tiến dành cho đo lường và kiểm tra chất bán dẫn. Các giải pháp này được thiết kế để giúp tăng năng suất trong các phòng thí nghiệm chế tạo chất bán dẫn bằng cách cải thiện khả năng kiểm soát chất lượng và năng suất trong sản xuất các thiết bị logic, 3D NAND, DRAM, analog, nguồn và hiển thị.

Phân tích lỗi bán dẫn

Các thiết bị phân tích nâng cao có thể phát hiện bất kỳ lỗi điện ảnh hưởng đến năng suất, độ tin cậy hoặc hiệu suất. Do đó, có thể giảm thời gian và chi phí liên quan đến việc cách ly lỗi điện bằng cách trích xuất nhanh chóng dữ liệu lỗi toàn diện từ mẫu.

Phân tích đặc tính vật liệu bán dẫn

Việc mô tả đặc tính nâng cao của thiết bị giúp đạt được hiệu suất cần thiết, dự đoán và kiểm soát các đặc tính cấu trúc, vật lý và hóa học, cũng như liên hệ dữ liệu mô tả đặc tính với kết quả kiểm tra tham số

ChemiSEM

Phương pháp Phổ xạ năng lượng phân tán để xác định đặc tính vật liệu.

Chụp ảnh mẫu nhiệt độ cao

Nghiên cứu vật liệu trong điều kiện thực tế thường liên quan đến làm việc ở nhiệt độ cao. Hành vi của vật liệu khi chúng tái tinh thể hóa, tan chảy, biến dạng, hoặc phản ứng dưới sự hiện diện của nhiệt có thể được nghiên cứu trực tiếp trong điều kiện với kính hiển vi điện tử quét hoặc các công cụ DualBeam.

SEM môi trường (ESEM)

SEM môi trường cho phép chụp ảnh vật liệu ở trạng thái tự nhiên. Điều này lý tưởng cho các nhà nghiên cứu học thuật và công nghiệp, những người cần kiểm tra và phân tích các mẫu ướt, bẩn, phản ứng, thoát khí hoặc không tương thích với chân không.

Phân tích hạt

Phân tích hạt đóng một vai trò quan trọng trong nghiên cứu vật liệu nano và kiểm soát chất lượng. Độ phân giải ở quy mô nanomet và hình ảnh vượt trội của kính hiển vi điện tử có thể được kết hợp với phần mềm chuyên dụng để xác định nhanh đặc tính của bột và hạt.

Phát quang cực âm

Phát quang cực âm (CL) mô tả sự phát ra ánh sáng từ một vật liệu khi nó được kích thích bởi một tia electron. Tín hiệu này, được thu thập bởi một bộ cảm biến CL chuyên dụng, mang thông tin về thành phần của mẫu, các khuyết tật tinh thể, hoặc các tính chất về photon.

Phân tích và Hình ảnh bán dẫn

Thermo Fisher Scientific cung cấp kính hiển vi điện tử quét cho mọi chức năng của phòng thí nghiệm bán dẫn, từ các tác vụ tạo ảnh thông thường đến các kỹ thuật phân tích lỗi nâng cao yêu cầu đo độ tương phản điện áp chính xác.