Verios 5 XHR SEM – Kính hiển vi điện tử quét

Kính hiển vi điện tử quét cung cấp độ phân giải dưới mức nano và độ tương phản vật liệu cao.

Kính hiển vi điện tử quét Verios 5 XHR

Kính hiển vi điện tử quét (SEM) Verios 5 XHR cung cấp độ phân giải dưới mức nano trên toàn phạm vi năng lượng từ 1 keV đến 30 keV với tương phản vật liệu vượt trội. Các mức độ tự động hóa và dễ sử dụng chưa từng có giúp hiệu suất này trở nên dễ tiếp cận với người sử dụng ở mọi trình độ kinh nghiệm.

Đặc điểm của kính hiển vi điện tử quét (SEM)

  • Hình ảnh vật liệu nano với độ phân giải cao bằng nguồn electron UC+ phân monochromated cho hiệu suất dưới mức nano từ 1-30 kV.
  • Độ tương phản cao trên các vật liệu nhạy với hiệu suất cao xuống đến 20 eV năng lượng đáp xuống và độ nhạy cao cho các bộ cảm biến trong cột và dưới ống kính, cùng với việc lọc tín hiệu để hoạt động ở lượng thấp và lựa chọn tương phản tối ưu.
  • Thời gian thu nhỏ đáng kể để đạt thông tin cấp nano cho người dùng ở mọi trình độ kinh nghiệm bằng cột electron Elstar tích hợp các công nghệ SmartAlign và FLASH.
  • Kết quả đo lường nhất quán với ống kính ConstantPower, quét điện tĩnh và sự lựa chọn của hai giai đoạn piezoelectric.
  • Linh hoạt cho các phụ kiện với một buồng lớn.
  • Vận hành SEM không cần người giám sát với Phần mềm AutoScript 4 của Thermo Scientific, một giao diện lập trình ứng dụng dựa trên Python tùy chọn.

Độ phân giải chùm tia điện tử

  • 0,6 nm ở 30 kV STEM (tùy chọn)
  • 0,6nm ở 2-15 kV
  • 0,7nm ở 1 kV
  • 1,0nm ở 500 V

Máy dò tiêu chuẩn

ETD, TLD, MD, ICD, đo dòng tia, Nav-Cam+, camera hồng ngoại

Máy dò tùy chọn

Máy dò tùy chọn | EDS, EBSD, phát quang âm RGB, Raman, WDS, v.v.

Độ lệch giai đoạn (giảm tốc chùm tia, tùy chọn)

Lên đến -4000 V, được bao gồm theo tiêu chuẩn

Làm sạch mẫu

Chất làm sạch plasma tích hợp, được bao gồm theo tiêu chuẩn

Thao tác mẫu

Phiên bản 5 UC

  • Bệ đồng tâm cơ giới hóa 5 trục, được dẫn động bằng áp điện trục XYR.
  • Phạm vi XY 150 x 150 mm 2 , phạm vi nghiêng 70°.
  • Đang tải qua cổng

Verios 5 HP

  • Bàn soi có động cơ áp điện 5 trục được gắn trong buồng, siêu ổn định.
  • Phạm vi XY 100 x 100 mm 2 , phạm vi nghiêng 70°.
  • Đang tải thông qua khóa tải tự động.

Buồng máy

Chiều rộng bên trong 379 mm, 21 cổng

Tùy chọn phần mềm

  • Phần mềm bản đồ khoa học nhiệt để thu thập tự động khu vực lớn
  • Phần mềm Thermo Scientific AutoScript 4 ; giao diện lập trình ứng dụng dựa trên Python
  • Phần mềm tạo mẫu
  • TopoMaps để tô màu hình ảnh, phân tích hình ảnh và tái tạo bề mặt 3D

Công nghệ SmartAlign

Công nghệ SmartAlign loại bỏ nhu cầu về việc điều chỉnh cột electron của người dùng, không chỉ giảm thiểu việc bảo dưỡng mà còn tăng năng suất làm việc.

Quang học electron đổi mới

Bao gồm súng UC+ (bộ lọc màu) được cấp bằng sáng chế của Thermo Scientific, ống kính ConstantPower và quét điện tĩnh cho hình ảnh chính xác và ổn định.

Độ phân giải dưới một nanômét

Công nghệ và hiệu suất FESEM monochromated (UC+) Elstar Schottky với độ phân giải dưới một nanômét từ 1 đến 30 keV.

Kết quả đo lường nhất quán

Verios lý tưởng cho các ứng dụng đo lường trong phòng thí nghiệm, có khả năng hiệu chuẩn theo tiêu chuẩn được chứng nhận của NIST ở độ phóng đại cao.

Hoạt động với lượng thấp và lựa chọn đối lập tối ưu

Bộ công cụ tiên tiến của các bộ cảm biến nhạy cao, nằm trong cột và dưới ống kính và lọc tín hiệu cho hoạt động với lượng thấp và lựa chọn đối lập tối ưu.

Dễ dàng truy cập năng lượng đáp xuống của tia

Thấp nhất là 20 eV với độ phân giải rất cao cho việc đặc trưng bề mặt thực sự.

Vận hành SEM không cần người giám sát

Với phần mềm AutoScript 4, một giao diện lập trình ứng dụng (API) dựa trên Python có thể chọn thêm.

Buồng máy lớn

Với sự lựa chọn từ hai giai đoạn được điều khiển bằng piezo chính xác và ổn định.

Nghiên cứu vật liệu cơ bản

Các vật liệu mới được nghiên cứu ở quy mô ngày càng nhỏ hơn để kiểm soát tối đa các tính chất vật lý và hóa học của chúng. Kính hiển vi điện tử cung cấp cho các nhà nghiên cứu cái nhìn sâu sắc về nhiều đặc tính vật liệu ở quy mô vi mô đến nano.

Nghiên cứu và phát triển chất bán dẫn

Sự đổi mới bắt đầu với nghiên cứu và phát triển. Tìm hiểu thêm về các giải pháp giúp bạn hiểu rõ về cấu trúc và vật liệu cải tiến ở cấp độ nguyên tử.

Đo lường bán dẫn

Việc sản xuất chất bán dẫn phức tạp ngày nay đòi hỏi phải có quy trình kiểm soát chính xác. Tìm hiểu thêm về các giải pháp phân tích và đo lường tiên tiến để đẩy nhanh quá trình học hỏi về năng suất.

Phân tích lỗi bán dẫn

Cấu trúc thiết bị bán dẫn phức tạp tạo ra nhiều chỗ để che giấu khuyết điểm hơn. Tìm hiểu thêm về các giải pháp phân tích lỗi để cách ly, phân tích và sửa chữa lỗi.

Đặc tính vật liệu bán dẫn

Nhiều yếu tố ảnh hưởng đến năng suất, hiệu suất và độ tin cậy. Tìm hiểu thêm về các giải pháp mô tả đặc tính vật lý, cấu trúc và hóa học.

Phổ xạ năng lượng phân tán

Phổ xạ năng lượng phân tán (EDS) thu thập thông tin nguyên tử chi tiết cùng với hình ảnh kính hiển vi điện tử, cung cấp bối cảnh hóa học quan trọng cho quan sát EM. Với EDS, thành phần hóa học có thể được xác định từ các quét bề mặt nhanh chóng, toàn diện đến từng nguyên tử.

Chụp ảnh mẫu nhiệt độ cao

Nghiên cứu vật liệu trong điều kiện thực tế thường liên quan đến làm việc ở nhiệt độ cao. Hành vi của vật liệu khi chúng tái tinh thể hóa, tan chảy, biến dạng, hoặc phản ứng dưới sự hiện diện của nhiệt có thể được nghiên cứu trực tiếp trong điều kiện với kính hiển vi điện tử quét hoặc các công cụ DualBeam.

Phân tích đa quy mô

Các vật liệu mới cần được phân tích ở độ phân giải càng cao càng tốt trong khi vẫn giữ nguyên bối cảnh lớn của mẫu. Phân tích đa quy mô cho phép liên kết giữa các công cụ và phương pháp hình ảnh khác nhau như X-ray microCT, DualBeam, Laser PFIB, SEM và TEM. Điều này giúp hiểu rõ hơn về cấu trúc và tính chất của vật liệu từ cấp độ nguyên tử đến cấp độ tinh thể và thậm chí là cấp độ macro.

Phát quang cực âm

Phát quang cực âm (CL) mô tả sự phát ra ánh sáng từ một vật liệu khi nó được kích thích bởi một tia electron. Tín hiệu này, được thu lại bởi một bộ cảm biến CL chuyên dụng, mang thông tin về thành phần của mẫu, các khuyết tật tinh thể, hoặc các tính chất quang học.

Kỹ thuật đo lường bằng vi kỹ thuật hiển vi quét (SEM)

SEM cung cấp dữ liệu đo lường chính xác và đáng tin cậy ở tỉ lệ nano mét. Kỹ thuật đo lường SEM siêu cao độ phân giải tự động giúp giảm thời gian đạt được hiệu suất và thời gian đưa sản phẩm ra thị trường nhanh hơn cho các ứng dụng lưu trữ bộ nhớ, logic và dữ liệu.