Kính hiển vi điện tử quét Verios 5 XHR
Kính hiển vi điện tử quét (SEM) Verios 5 XHR cung cấp độ phân giải dưới mức nano trên toàn phạm vi năng lượng từ 1 keV đến 30 keV với tương phản vật liệu vượt trội. Các mức độ tự động hóa và dễ sử dụng chưa từng có giúp hiệu suất này trở nên dễ tiếp cận với người sử dụng ở mọi trình độ kinh nghiệm.
Đặc điểm của kính hiển vi điện tử quét (SEM)
- Hình ảnh vật liệu nano với độ phân giải cao bằng nguồn electron UC+ phân monochromated cho hiệu suất dưới mức nano từ 1-30 kV.
- Độ tương phản cao trên các vật liệu nhạy với hiệu suất cao xuống đến 20 eV năng lượng đáp xuống và độ nhạy cao cho các bộ cảm biến trong cột và dưới ống kính, cùng với việc lọc tín hiệu để hoạt động ở lượng thấp và lựa chọn tương phản tối ưu.
- Thời gian thu nhỏ đáng kể để đạt thông tin cấp nano cho người dùng ở mọi trình độ kinh nghiệm bằng cột electron Elstar tích hợp các công nghệ SmartAlign và FLASH.
- Kết quả đo lường nhất quán với ống kính ConstantPower, quét điện tĩnh và sự lựa chọn của hai giai đoạn piezoelectric.
- Linh hoạt cho các phụ kiện với một buồng lớn.
- Vận hành SEM không cần người giám sát với Phần mềm AutoScript 4 của Thermo Scientific, một giao diện lập trình ứng dụng dựa trên Python tùy chọn.
Công nghệ SmartAlign
Công nghệ SmartAlign loại bỏ nhu cầu về việc điều chỉnh cột electron của người dùng, không chỉ giảm thiểu việc bảo dưỡng mà còn tăng năng suất làm việc.
Quang học electron đổi mới
Bao gồm súng UC+ (bộ lọc màu) được cấp bằng sáng chế của Thermo Scientific, ống kính ConstantPower và quét điện tĩnh cho hình ảnh chính xác và ổn định.
Độ phân giải dưới một nanômét
Công nghệ và hiệu suất FESEM monochromated (UC+) Elstar Schottky với độ phân giải dưới một nanômét từ 1 đến 30 keV.
Kết quả đo lường nhất quán
Verios lý tưởng cho các ứng dụng đo lường trong phòng thí nghiệm, có khả năng hiệu chuẩn theo tiêu chuẩn được chứng nhận của NIST ở độ phóng đại cao.
Hoạt động với lượng thấp và lựa chọn đối lập tối ưu
Bộ công cụ tiên tiến của các bộ cảm biến nhạy cao, nằm trong cột và dưới ống kính và lọc tín hiệu cho hoạt động với lượng thấp và lựa chọn đối lập tối ưu.
Dễ dàng truy cập năng lượng đáp xuống của tia
Thấp nhất là 20 eV với độ phân giải rất cao cho việc đặc trưng bề mặt thực sự.
Vận hành SEM không cần người giám sát
Với phần mềm AutoScript 4, một giao diện lập trình ứng dụng (API) dựa trên Python có thể chọn thêm.
Buồng máy lớn
Với sự lựa chọn từ hai giai đoạn được điều khiển bằng piezo chính xác và ổn định.
Nghiên cứu vật liệu cơ bản
Các vật liệu mới được nghiên cứu ở quy mô ngày càng nhỏ hơn để kiểm soát tối đa các tính chất vật lý và hóa học của chúng. Kính hiển vi điện tử cung cấp cho các nhà nghiên cứu cái nhìn sâu sắc về nhiều đặc tính vật liệu ở quy mô vi mô đến nano.
Nghiên cứu và phát triển chất bán dẫn
Sự phức tạp ngày càng tăng của cấu trúc thiết bị bán dẫn, cùng với việc thu hẹp kích thước cấu trúc, có nghĩa là việc thiết kế các thiết bị thế hệ tiếp theo phức tạp và tốn thời gian hơn. Điều này, cùng với thực tế là số lượng các lựa chọn công nghệ và thiết kế sẵn có ngày càng tăng, có nghĩa là xác suất thành công về mặt thương mại của bất kỳ thiết kế cụ thể nào sẽ thấp hơn. Do đó, các nhà sản xuất thiết bị cần các thiết bị đáng tin cậy để giúp giảm số lượng tùy chọn khả thi có sẵn và giúp họ triển khai giải pháp nhanh hơn.
Đo lường bán dẫn
Thermo Fisher Scientific cung cấp bộ sản phẩm thế hệ mới với khả năng phân tích tiên tiến dành cho đo lường và kiểm tra chất bán dẫn. Các giải pháp này được thiết kế để giúp tăng năng suất trong các phòng thí nghiệm chế tạo chất bán dẫn bằng cách cải thiện khả năng kiểm soát chất lượng và năng suất trong sản xuất các thiết bị logic, 3D NAND, DRAM, analog, nguồn và hiển thị.
Phân tích lỗi bán dẫn
Các thiết bị phân tích nâng cao có thể phát hiện bất kỳ lỗi điện ảnh hưởng đến năng suất, độ tin cậy hoặc hiệu suất. Do đó, có thể giảm thời gian và chi phí liên quan đến việc cách ly lỗi điện bằng cách trích xuất nhanh chóng dữ liệu lỗi toàn diện từ mẫu.
Phân tích đặc tính vật liệu bán dẫn
Việc mô tả đặc tính nâng cao của thiết bị giúp đạt được hiệu suất cần thiết, dự đoán và kiểm soát các đặc tính cấu trúc, vật lý và hóa học, cũng như liên hệ dữ liệu mô tả đặc tính với kết quả kiểm tra tham số
Phổ xạ năng lượng phân tán (EDS) thu thập thông tin nguyên tử chi tiết cùng với hình ảnh kính hiển vi điện tử, cung cấp bối cảnh hóa học quan trọng cho quan sát EM. Với EDS, thành phần hóa học có thể được xác định từ các quét bề mặt nhanh chóng, toàn diện đến từng nguyên tử.
Nghiên cứu vật liệu trong điều kiện thực tế thường liên quan đến làm việc ở nhiệt độ cao. Hành vi của vật liệu khi chúng tái tinh thể hóa, tan chảy, biến dạng, hoặc phản ứng dưới sự hiện diện của nhiệt có thể được nghiên cứu trực tiếp trong điều kiện với kính hiển vi điện tử quét hoặc các công cụ DualBeam.
Các vật liệu mới cần được phân tích ở độ phân giải càng cao càng tốt trong khi vẫn giữ nguyên bối cảnh lớn của mẫu. Phân tích đa quy mô cho phép liên kết giữa các công cụ và phương pháp hình ảnh khác nhau như X-ray microCT, DualBeam, Laser PFIB, SEM và TEM. Điều này giúp hiểu rõ hơn về cấu trúc và tính chất của vật liệu từ cấp độ nguyên tử đến cấp độ tinh thể và thậm chí là cấp độ macro.
Phát quang cực âm (CL) mô tả sự phát ra ánh sáng từ một vật liệu khi nó được kích thích bởi một tia electron. Tín hiệu này, được thu lại bởi một bộ cảm biến CL chuyên dụng, mang thông tin về thành phần của mẫu, các khuyết tật tinh thể, hoặc các tính chất quang học.
EN