Các quy trình sản xuất bộ nhớ và logic tiên tiến đang ngày càng phụ thuộc nhiều hơn vào việc quay vòng nhanh dữ liệu phân tích và cấu trúc chính xác để có thể nhanh chóng hiệu chỉnh các bộ công cụ, chẩn đoán sai lệch năng suất và tối ưu hóa năng suất quy trình. Tại các nút công nghệ dưới 28nm, đặc biệt trong trường hợp triển khai thiết kế thiết bị 3D và thiết bị tiên tiến, các công cụ kiểm tra và phân tích dựa trên quang học hoặc SEM thông thường gặp phải những thách thức làm hạn chế khả năng cung cấp dữ liệu mạnh mẽ và đáng tin cậy. Kính hiển vi điện tử truyền qua Thermo Scientific Metrios AX (TEM) là TEM đầu tiên chuyên cung cấp phép đo tham chiếu và mô tả đặc tính nhanh, chính xác mà các nhà sản xuất chất bán dẫn cần phát triển và kiểm soát quy trình chế tạo tấm bán dẫn.
Dữ liệu TEM khối lượng lớn, chính xác và có thể lặp lại
Metrios AX TEM tự động hóa các quy trình đo lường và vận hành TEM cơ bản, giảm thiểu yêu cầu đào tạo người vận hành chuyên môn. Quy trình đo lường tự động tiên tiến của nó mang lại độ chính xác cao hơn đáng kể so với các phương pháp thủ công. Metrios AX TEM được thiết kế để cung cấp thông lượng được cải thiện và chi phí trên mỗi mẫu thấp hơn so với các TEM khác.
EN