Đặc tính vật liệu
Các phòng thí nghiệm mô tả đặc tính vật liệu tiên tiến yêu cầu quyền truy cập vào các kỹ thuật mới nhất và sẽ đẩy các công cụ phân tích, bao gồm cả SEM, đến khả năng tối đa của chúng. Hầu hết các phòng thí nghiệm này đều là cơ sở nhiều người dùng, phù hợp với những người dùng có mức độ kinh nghiệm khác nhau. Thời gian sử dụng kính hiển vi là rất quý giá và cần phải tránh dành quá nhiều thời gian cho việc bảo trì, căn chỉnh hoặc tối ưu hóa hình ảnh.
Kính hiển vi điện tử quét Apreo 2
Thermo Scientific Apreo 2 SEM mới mở rộng khả năng tiếp cận hình ảnh và phân tích hiệu suất cao cho tất cả các cấp độ chuyên môn về kính hiển vi. Với Công nghệ Thermo Scientific ChemiSEM, khả năng chụp ảnh nguyên tố sống độc đáo, thông tin về thành phần luôn có sẵn thông qua giao diện trực quan nhất. Loại bỏ tất cả những rắc rối liên quan đến việc triển khai EDS điển hình, Công nghệ ChemiSEM mang lại thời gian nhanh chóng và dễ sử dụng.
Apreo 2 SEM đặt ra những nhu cầu nhỏ hơn nhiều đối với người dùng và người quản lý phòng thí nghiệm với Công nghệ Thermo Scientific SmartAlign, một hệ thống quang học tự điều chỉnh. Hơn nữa, Apreo 2 SEM tự động hóa quá trình tinh chỉnh hình ảnh bằng công nghệ Thermo Scientific FLASH. Công nghệ FLASH thực hiện mọi chỉnh sửa cần thiết đối với việc định tâm ống kính, các điểm mờ và tiêu điểm cuối cùng của hình ảnh. Sự kết hợp của các công nghệ này có nghĩa là những người mới sử dụng kính hiển vi điện tử có thể tiếp cận hiệu suất cao cấp của Apreo 2 SEM. Ngoài ra, Apreo 2 SEM là SEM duy nhất có độ phân giải 1 nanomet ở khoảng cách làm việc phân tích 10 mm. Khoảng cách làm việc rộng không còn có nghĩa là hình ảnh kém. Với Apreo 2 SEM, bất kỳ ai cũng có thể tự tin nhận được kết quả tối ưu.
Hiệu suất, độ phân giải và độ tương phản cao
Sự kết hợp giữa quang học tiên tiến, khả năng phát hiện và tự động hóa trong Apreo 2 giúp có thể thu được hình ảnh có độ phân giải cao ngay cả đối với người dùng mới làm quen với SEM.
Nhiều loại mẫu
Apreo 2 được thiết kế để mang lại sự linh hoạt tối đa. Có thể chụp ảnh chất lượng cao, độ phân giải cao bất kể đặc tính của mẫu mục tiêu. Các chất cách điện, vật liệu nhạy với chùm tia hoặc từ tính đều có thể được chụp ảnh một cách dễ dàng nhờ các tùy chọn điều khiển chùm tia, phát hiện và quang học độc đáo của Apreo 2.
EDS định lượng trực tiếp với ChemiSEM
Thông tin nguyên tố trong tầm tay với ChemiSEM, cung cấp bản đồ nguyên tố định lượng trực tiếp với thời gian nhanh chóng và dễ sử dụng.
Tải mẫu nhanh chóng và dễ dàng
Dễ dàng tiếp cận bàn soi, giá đỡ nhiều mẫu tiện lợi và bơm xuống nhanh đảm bảo không lãng phí thời gian khi tải mẫu. Một quy trình tự động để chèn và tháo khẩu độ giới hạn áp suất (PLA) cho phép chuyển đổi liền mạch giữa chân không cao và thấp mà không cần mở buồng.
Tự động hóa nâng cao
Từ quang học đến thu thập hình ảnh, Apreo 2 cung cấp một loạt tính năng tự động để giúp thời gian chụp ảnh hiệu quả và tiết kiệm nhất có thể. Công nghệ Flash tự động tinh chỉnh hình ảnh Chức năng Hoàn tác độc đáo cho phép khám phá hiệu quả các điều kiện hình ảnh Phần mềm Bản đồ khoa học nhiệt tự động thu thập dữ liệu khu vực rộng với tối đa 4 tín hiệu đồng thời khác nhau
Hiệu suất ở khoảng làm việc lớn
Apreo 2 là SEM duy nhất cung cấp hiệu suất độ phân giải cao (1nm) và chất lượng hình ảnh tuyệt vời ở khoảng cách làm việc phân tích (10 mm). Tất cả các thông tin về hình thái, địa hình và bề mặt mẫu đều có thể được khám phá đồng thời trong khi ở khoảng cách an toàn với mảnh cột. Nhờ máy dò tán xạ ngược trong ống kính có tốc độ cao và độ nhạy cao, BSE vẫn được phát hiện ngay cả ở dòng điện chùm tia cực thấp (thấp tới vài pA).
Kiểm soát quá trình bằng kính hiển vi điện tử
Ngành công nghiệp hiện đại đòi hỏi năng suất cao với chất lượng vượt trội, sự cân bằng được duy trì thông qua kiểm soát quy trình mạnh mẽ. Các công cụ SEM và TEM với phần mềm tự động hóa chuyên dụng cung cấp thông tin nhanh chóng, đa quy mô để theo dõi và cải tiến quy trình.
Kiểm soát chất lượng và phân tích lỗi
Kiểm soát và đảm bảo chất lượng là rất cần thiết trong ngành công nghiệp hiện đại. Thermo Fisher cung cấp các thiết bị EM và quang phổ để phân tích các lỗi ở nhiều quy mô và đa phương thức, cho phép bạn đưa ra các quyết định đáng tin cậy và sáng suốt để kiểm soát và cải tiến quy trình.
Nghiên cứu vật liệu cơ bản
Các vật liệu mới được nghiên cứu ở quy mô ngày càng nhỏ hơn để kiểm soát tối đa các tính chất vật lý và hóa học của chúng. Kính hiển vi điện tử cung cấp cho các nhà nghiên cứu cái nhìn sâu sắc về nhiều đặc tính vật liệu ở quy mô vi mô đến nano.
Nghiên cứu và phát triển chất bán dẫn
Sự phức tạp ngày càng tăng của cấu trúc thiết bị bán dẫn, cùng với việc thu hẹp kích thước cấu trúc, có nghĩa là việc thiết kế các thiết bị thế hệ tiếp theo phức tạp và tốn thời gian hơn. Điều này, cùng với thực tế là số lượng các lựa chọn công nghệ và thiết kế sẵn có ngày càng tăng, có nghĩa là xác suất thành công về mặt thương mại của bất kỳ thiết kế cụ thể nào sẽ thấp hơn. Do đó, các nhà sản xuất thiết bị cần các thiết bị đáng tin cậy để giúp giảm số lượng tùy chọn khả thi có sẵn và giúp họ triển khai giải pháp nhanh hơn.
Đo lường bán dẫn
Thermo Fisher Scientific cung cấp bộ sản phẩm thế hệ mới với khả năng phân tích tiên tiến dành cho đo lường và kiểm tra chất bán dẫn. Các giải pháp này được thiết kế để giúp tăng năng suất trong các phòng thí nghiệm chế tạo chất bán dẫn bằng cách cải thiện khả năng kiểm soát chất lượng và năng suất trong sản xuất các thiết bị logic, 3D NAND, DRAM, analog, nguồn và hiển thị.
Phân tích lỗi bán dẫn
Các thiết bị phân tích nâng cao có thể phát hiện bất kỳ lỗi điện ảnh hưởng đến năng suất, độ tin cậy hoặc hiệu suất. Do đó, có thể giảm thời gian và chi phí liên quan đến việc cách ly lỗi điện bằng cách trích xuất nhanh chóng dữ liệu lỗi toàn diện từ mẫu.
Phân tích đặc tính vật liệu bán dẫn
Việc mô tả đặc tính nâng cao của thiết bị giúp đạt được hiệu suất cần thiết, dự đoán và kiểm soát các đặc tính cấu trúc, vật lý và hóa học, cũng như liên hệ dữ liệu mô tả đặc tính với kết quả kiểm tra tham số
Phương pháp Phổ xạ năng lượng phân tán để xác định đặc tính vật liệu.
Phổ xạ năng lượng phân tán (EDS) thu thập thông tin nguyên tử chi tiết cùng với hình ảnh kính hiển vi điện tử, cung cấp bối cảnh hóa học quan trọng cho quan sát EM. Với EDS, thành phần hóa học có thể được xác định từ các quét bề mặt nhanh chóng, toàn diện đến từng nguyên tử.
Nghiên cứu vật liệu trong điều kiện thực tế thường liên quan đến làm việc ở nhiệt độ cao. Hành vi của vật liệu khi chúng tái tinh thể hóa, tan chảy, biến dạng, hoặc phản ứng dưới sự hiện diện của nhiệt có thể được nghiên cứu trực tiếp trong điều kiện với kính hiển vi điện tử quét hoặc các công cụ DualBeam.
Các vật liệu mới cần được phân tích ở độ phân giải càng cao càng tốt trong khi vẫn giữ nguyên bối cảnh lớn của mẫu. Phân tích đa quy mô cho phép liên kết giữa các công cụ và phương pháp hình ảnh khác nhau như X-ray microCT, DualBeam, Laser PFIB, SEM và TEM. Điều này giúp hiểu rõ hơn về cấu trúc và tính chất của vật liệu từ cấp độ nguyên tử đến cấp độ tinh thể và thậm chí là cấp độ macro.
EN