ESCALAB QXi – Thiết bị quang phổ quang điện tử tia X

XPS đơn sắc

Bộ đơn sắc vi mô, tinh thể đôi có vòng tròn Rowland 500 mm, sử dụng cực dương Al (hoặc cực dương Al và Ag kép với tùy chọn bộ đơn sắc kép) và cho phép chọn bất kỳ kích thước điểm mẫu nào từ 200 µm đến 900 ừm.

Nguồn điện tử đồng nhất

Một nguồn điện tử, đồng trục với thấu kính đầu vào của máy phân tích, được sử dụng để bù điện tích khi phân tích các mẫu không dẫn điện bằng nguồn tia X đơn sắc, trong khi nguồn điện tử thứ hai tạo ra cả hai ion năng lượng thấp để hỗ trợ bù điện tích hiệu quả và các electron năng lượng thấp khi không sử dụng thấu kính từ tính.

Vật kính và máy phân tích

Hệ thống vật kính và máy phân tích trên Microprobe ESCALAB QXi XPS được tối ưu hóa cho cả quang phổ và hình ảnh song song; đường dẫn máy phân tích duy nhất có nghĩa là các thông số thiết bị giống nhau (ví dụ: năng lượng truyền qua) có thể được sử dụng cho cả quang phổ và hình ảnh.

Máy dò

Microprobe ESCALAB QXi XPS được trang bị hai hệ thống máy dò: một hệ thống được tối ưu hóa cho quang phổ, bao gồm một dãy các bộ nhân điện tử sáu kênh và một cho hình ảnh song song, bao gồm một cặp tấm kênh và một máy dò nhạy vị trí liên tục.

Súng ion

Microprobe ESCALAB QXi XPS có hai tùy chọn để thiết lập độ sâu nhanh, độ phân giải cao: súng ion EX06 tiêu chuẩn, được tối ưu hóa cho phương pháp phún xạ ion đơn nguyên tử và quang phổ tán xạ ion; và nguồn ion cụm khí và đơn nguyên tử tùy chọn, MAGCIS, có khả năng phân tích ion đơn nguyên tử, phân tích ion cụm và quang phổ tán xạ ion.

Điều khiển kỹ thuật số

Tất cả các chức năng phân tích đều được điều khiển từ hệ thống dữ liệu Avantage dựa trên Phần mềm Windows, nghĩa là toàn bộ quá trình phân tích có thể được thực hiện từ xa, nếu cần.

Căn chỉnh và hiệu chuẩn

Khối tiêu chuẩn có các mẫu đồng, bạc và vàng có thể được sử dụng để đánh giá độ nhạy, thiết lập độ tuyến tính của thang năng lượng máy phân tích, hiệu chuẩn nguồn ion, căn chỉnh máy đơn sắc tia X và xác định chức năng truyền của thiết bị phân tích

Căn chỉnh mẫu

Tất cả các trục chuyển động trên bệ mẫu đều được điều khiển bởi Hệ thống dữ liệu Avantage và máy quay video kỹ thuật số có độ phân giải cao được lắp vào thiết bị và được căn chỉnh chính xác với vị trí phân tích.

Thao tác mẫu

Bộ dịch 5 trục có độ chính xác cao (HPT) được điều khiển bằng máy tính cho phép căn chỉnh mẫu chính xác để phân tích. Khi kết hợp với hệ thống nạp mẫu tự động mới, nó có thể được sử dụng để tự động trao đổi giá đỡ mẫu và chạy các thử nghiệm thứ tự

Hệ thống chân không

Buồng phân tích được chế tạo từ kim loại mu dày 5 mm để tối đa hóa hiệu quả của việc bảo vệ từ tính và buồng được bơm bằng cả bơm turbo phân tử và bơm thăng hoa titan, cho phép buồng phân tích đạt được độ chân không tốt hơn 5 x 10-10 mbar.

Buồng chuẩn bị

Buồng Preploc tiêu chuẩn, là buồng chuẩn bị và khóa nhập mẫu kết hợp, có các cổng chứa nhiều loại thiết bị chuẩn bị mẫu, chẳng hạn như đầu dò làm nóng/làm mát, súng ion, bình chứa khí áp suất cao, đỗ mẫu và nạp khí.

Kết nối

Tọa độ đo có thể được nhập vào Hệ thống Dữ liệu Avantage từ các hệ thống kính hiển vi chuyên dụng sử dụng Phần mềm Bản đồ Thermo Scientifc để xác định các khu vực đo nhanh hơn nữa. Dữ liệu hình ảnh và quang phổ XPS có thể được thêm vào Phần mềm Bản đồ để cho phép so sánh trực tiếp thông tin cấu trúc và hóa học bề mặt.