AMC-331 – Lồng chống nhiễu điện từ trường cho máy SEM

Nếu nhiễu điện từ trường xảy ra, chúng sẽ ảnh hưởng xấu đến các thiết bị ứng dụng chùm tia điện tử như kính hiển vi điện tử. AMC-331 là hệ thống ngăn chặn nhiễu điện từ trường bằng cảm biến từ trường có độ nhạy cao và sử dụng cuộn dây Helmholtz để tạo ra từ trường có pha ngược nhau.

Danh mục: Thẻ: , , Brand:

Nguyên nhân gây ra sự nhiễu điện từ trường

  • Do chuyển động của vật liệu từ tính (ô tô, thang máy, tàu hỏa, v.v.)
  • Tiếng ồn nguồn điện (50 hoặc 60 Hz)
  • Ảnh hưởng của các thiết bị ngoại vi

Cuộn dây Helmholtz

  • Một cuộn dây được mắc nối tiếp với số vòng dây bằng nhau theo cách sắp xếp song song.
  • Khi có dòng điện chạy qua, một từ trường sẽ được tạo ra theo hướng trục của cuộn dây
Bản đồ mật độ từ thông
Từ trường song song bởi cuộn dây Helmholtz
Tính toán lý thuyết 1

 

Lý thuyết 2: Áp dụng định luật Pio-Savart để tính mật độ từ thông theo hướng trục X

 

Tính toán lý thuyết 3 Kết quả phân tích 1
Tính toán lý thuyết 4 Kết quả phân tích 4
  • Hiệu suất cao: Hiệu suất giảm nhiễu lên đến 40-60 dB
  • Chi phí thấp: Đạt được chi phí khoảng 1/10 so với các biện pháp từ trường của một lá chắn
  • Dễ dàng lắp đặt: Thực hiện lắp đặt dễ dàng bằng cách cố định cuộn dây xung quanh thiết bị

Phương pháp điều khiển: Điều khiển giá trị đại diện DC + điều khiển phản hồi độc lập cho từng trục
Phạm vi điều khiển: ± 15 μT (có thể chấp nhận)
Tần số điều khiển: DC bán phần ~ 1kHz
Tỷ lệ suy giảm: 40-60 dB

1) Dữ liệu đo được nhiễu 200Hz
2) Dữ liệu đo Sự nhiễu điện môi trường
  • Kính hiển vi điện tử quét (SEM)
  • Kính hiển vi điện tử truyền qua (TEM)
  • Chùm ion hội tụ (FIB)
  • Máy quang phổ khối (MASS)
  • Thiết bị quang khắc chùm tia điện tử (EBL)
  • Thiết bị kiểm tra khuyết tật
  • Đo lường quan sát wafer SEM

Sản phẩm tương tự

Kính hiển vi điện tử quét (SEM)

δTA – Bộ chống rung chủ động cho máy SEM

Kính hiển vi điện tử quét (SEM)

Apreo 2 SEM – Kính hiển vi điện tử quét

Kính hiển vi điện tử quét (SEM)

Phenom ParticleX Steel Desktop SEM – Kính hiển vi điện tử quét để bàn

Kính hiển vi điện tử quét (SEM)

Apreo ChemiSEM – Kính hiển vi điện tử quét

Kính hiển vi điện tử quét (SEM)

Phenom XL G2 Desktop SEM – Kính hiển vi điện tử quét để bàn

Kính hiển vi điện tử quét (SEM)

Prisma E SEM – Kính hiển vi điện tử quét

Kính hiển vi điện tử quét (SEM)

Phenom ParticleX TC Desktop SEM – Kính hiển vi điện tử quét để bàn

Kính hiển vi điện tử quét (SEM)

Volumescope 2 SEM – Kính hiển vi điện tử quét