- Điều khiển với 6 bậc tự do hoạt động theo hướng thẳng đứng (Z), 2 hướng ngang (X, Y) và mỗi hướng quay.
- Thể hiện hiệu ứng chống rung ổn định bất kể trọng lượng của thiết bị được gắn (tải trọng trung bình từ 0 đến 100 kg) và vị trí của trọng tâm.
- Được trang bị cơ chế tự động cân bằng, có thể cảm nhận vị trí trọng tâm của thiết bị được lắp đặt khi khởi động và tự động điều chỉnh cân bằng điều khiển tối ưu.
- Hỗ trợ sử dụng phòng sạch bằng cách loại trừ các thành phần có thể tạo ra bụi.
- Bảng điều khiển này sử dụng VFD (ống hiển thị huỳnh quang) có góc nhìn rộng và dễ nhìn. Ngoài ra, nó có chức năng nguồn sáng BẬT/TẮT để sử dụng trong phòng tối.
δTA – Bộ chống rung chủ động cho máy SEM
Thiết bị chống rung chủ động nhỏ gọn không cần không khí. Nó thể hiện hiệu suất chống rung vượt trội ở cả tần số thấp và cao.
Model | δTA-56 |
---|---|
Phương pháp kiểm soát | Kiểm soát phản hồi 6-DOF |
Kích thước bên ngoài của bộ chống rung (R x S x C mm) | 500 × 600 × 92 |
Kích thước đĩa bề mặt (W × D mm) | 500 × 600 |
Khối lượng sản phẩm (kg) | 31 |
Tải trọng giới hạn (kg) | 100 |
Nguồn điện | Một pha AC100-200V (50/60Hz) |
- AFM (kính hiển vi lực nguyên tử), SPM (kính hiển vi quét đầu dò).
- Kính hiển vi laser, máy giao thoa laser.
- Máy đo độ cứng vi mô.
- Các dụng cụ đo lường chính xác khác.


Hiệu ứng chống rung vượt trội ngay cả khi không tải và trọng tâm cao.